基本信息
邊長 210.1x105.05±0.15mm
厚度 110+20/-10μm
TTV ≤27μm
線痕 ≤15μm
電阻率 0.3-2.1Ω.cm
少子壽命 ≥1000μs
氧含量 ≤ 7E + 17 at/cm3(14ppm)
碳含量 ≤ 5E + 16 at/cm3(1ppm)