基本信息
邊長 182.3x210±0.2mm
厚度 130±8μm
TTV ≤20μm
線痕 ≤13μm
電阻率 0.9-1.4Ω.cm
少子壽命 ≥1500μs
氧含量 ≤ 5.5E + 17 at/cm3(11ppm)
碳含量 ≤ 5E + 16 at/cm3(1ppm)